Ity fitaovana ity dia mampiasa fomba fandrefesana interferometrika tsy misy fifandraisana, fiovan'ny toetr'andro, tsy manimba ny endriky ny workpiece mandritra ny fandrefesana, afaka mandrefy haingana ny sary amin'ny lafiny telo amin'ny micro-topography amin'ny workpieces isan-karazany, ary manadihady sy manao kajy ny fandrefesana. vokatra.
Mombamomba ny vokatra
Endri-javatra: Mety amin'ny fandrefesana ny habetsan'ny gorodona isan-karazany sy ny ampahany optika; ny halalin'ny reticle ny mpanapaka sy ny dial; ny hatevin'ny coating ny grating groove rafitra sy ny rafitra morphology ny coating sisin-tany; ny ambonin`ny andriamby (optical) kapila sy ny andriamby lohany fandrefesana Structure; ny hamafin'ny tampon'ny silicone wafer sy ny fandrefesana ny rafitra lamina, sns.
Noho ny fandrefesana avo marina ny fitaovana, dia manana ny toetra tsy mifandray sy telo dimensions fandrefesana, ary manaiky ny solosaina fanaraha-maso sy ny fanadihadiana haingana sy ny kajy ny vokatra fandrefesana. Ity fitaovana ity dia mety amin'ny ambaratonga rehetra amin'ny vondrona fikarohana fitiliana sy fandrefesana, efitrano fandrefesana orinasa indostrialy sy fitrandrahana harena an-kibon'ny tany, atrikasa fanodinana mazava tsara, ary mety ho an'ny Andrim-pampianarana ambony sy toeram-pikarohana siantifika, sns.
Ny tena masontsivana ara-teknika
Fandrefesana ny halalin'ny tsy fitovian'ny mikrosopia ambonin'ny tany
Amin'ny sehatra mitohy, rehefa tsy misy fiovana tampoka ny haavony mihoatra ny 1/4 halavan'ny onjam eo anelanelan'ny teboka roa mifanakaiky: 1000-1nm
Rehefa misy fiovan'ny haavo mihoatra ny 1/4 amin'ny halavan'ny onjam eo anelanelan'ny teboka roa mifanakaiky: 130-1nm
Famerenana ny fandrefesana: δRa ≤0.5nm
Fanamafisana ny lens tanjona: 40X
Aperture isa: Φ 65
Ny halavan'ny asa: 0.5mm
Sahan'ny fitaovana fijerena maso: Φ0.25mm
Sary: 0.13 × 0.13mm
Fanamafisana ny fitaovana Hita maso: 500 ×
Sary (jereo amin'ny efijerin'ny ordinatera)-2500×
Receiver fandrefesana array: 1000X1000
Haben'ny piksel: 5.2 × 5.2µm
Fotoana fandrefesana sampling (scanning) fotoana: 1S
Fitaovana fitaratry ny fitaratra mahazatra (avo): ~ 50%
Reflectance (ambany): ~4%
Loharano jiro: jiro incandescent 6V 5W
Green fitsabahana sivana halavan'ny onjam: λ≒530nm
Ny antsasaky ny sakany λ≒10nm
Fiakarana mikraoskaopy lehibe: 110 mm
Fiakarana ambony latabatra: 5 mm
Fihetsiketsehana amin'ny lalana X sy Y: ~10 mm
Fihodinan'ny latabatra fiasana: 360°
Mitongilana isan-karazany ny latabatra miasa: ± 6 °
Rafitra informatika: P4, 2.8G na mihoatra, efijery fisaka 17 santimetatra misy fahatsiarovana 1G na mihoatra